সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পরিদর্শনের ক্ষেত্রে, ক্লিনরুম পরিবেশের বিশুদ্ধতা পণ্যের উৎপাদনের সাথে সরাসরি সম্পর্কিত। চিপ উৎপাদন প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা ক্রমাগত উন্নত হওয়ার সাথে সাথে, সনাক্তকরণ সরঞ্জামের বহনকারী প্ল্যাটফর্মগুলির জন্য প্রয়োজনীয়তা ক্রমশ কঠোর হচ্ছে। গ্রানাইট প্ল্যাটফর্ম, যার বৈশিষ্ট্য হলো শূন্য ধাতব আয়ন নির্গমন এবং কম কণা দূষণ, তা প্রচলিত স্টেইনলেস স্টিলের উপকরণকে ছাড়িয়ে গেছে এবং ওয়েফার পরিদর্শন সরঞ্জামের জন্য পছন্দের সমাধানে পরিণত হয়েছে।
গ্রানাইট হলো একটি প্রাকৃতিক আগ্নেয় শিলা যা প্রধানত কোয়ার্টজ, ফেল্ডস্পার এবং মাইকার মতো অধাতব খনিজ দ্বারা গঠিত। এই বৈশিষ্ট্যের কারণে এটি থেকে কোনো ধাতব আয়ন নির্গত হয় না। এর বিপরীতে, স্টেইনলেস স্টিল, যা লোহা, ক্রোমিয়াম এবং নিকেলের মতো ধাতুর একটি সংকর, ক্লিনরুম পরিবেশে জলীয় বাষ্প এবং অম্লীয় বা ক্ষারীয় গ্যাসের ক্ষয়ের কারণে এর পৃষ্ঠে তড়িৎ-রাসায়নিক ক্ষয়ের প্রবণতা দেখায়, যার ফলে Fe²⁺ এবং Cr³⁺-এর মতো ধাতব আয়ন অধঃক্ষিপ্ত হয়। একবার এই ক্ষুদ্র আয়নগুলো ওয়েফারের পৃষ্ঠে সংযুক্ত হলে, এগুলো ফটোলিথোগ্রাফি এবং এচিং-এর মতো পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলোতে সেমিকন্ডাক্টর উপাদানের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করে, ট্রানজিস্টরের থ্রেশহোল্ড ভোল্টেজ ড্রিফট ঘটায় এবং এমনকি সার্কিটে শর্ট সার্কিটের কারণও হতে পারে। পেশাদার প্রতিষ্ঠানের পরীক্ষার তথ্য থেকে দেখা যায় যে, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মটিকে একটি অনুকৃত ক্লিন রুমের তাপমাত্রা ও আর্দ্রতার পরিবেশে (২৩±০.৫℃, ৪৫%±৫% RH) ১০০০ ঘণ্টা ধরে ক্রমাগত রাখার পর, ধাতব আয়নের নির্গমন শনাক্তকরণ সীমার (< ০.১ পিপিবি) চেয়ে কম ছিল। স্টেইনলেস স্টিলের প্ল্যাটফর্ম ব্যবহার করার ক্ষেত্রে ধাতব আয়ন দূষণের কারণে ওয়েফারের ত্রুটির হার ১৫% থেকে ২০% পর্যন্ত হতে পারে।
কণা দূষণ নিয়ন্ত্রণের ক্ষেত্রেও গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলি অসাধারণভাবে কাজ করে। ক্লিনরুমের বাতাসে ভাসমান কণার ঘনত্বের জন্য অত্যন্ত উচ্চ মানদণ্ড রয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, আইএসও ক্লাস ১ ক্লিনরুমে, প্রতি ঘনমিটারে ০.১μm কণার অনুমোদিত সংখ্যা ১০-এর বেশি হয় না। এমনকি স্টেইনলেস স্টিল প্ল্যাটফর্ম পালিশ করা হলেও, যন্ত্রপাতির কম্পন এবং কর্মীদের কার্যকলাপের মতো বাহ্যিক শক্তির কারণে তা থেকে ধাতব কণা বা অক্সাইড স্তর খসে পড়তে পারে, যা ডিটেকশন অপটিক্যাল পথে বাধা সৃষ্টি করতে পারে বা ওয়েফারের পৃষ্ঠে আঁচড় ফেলতে পারে। গ্রানাইট প্ল্যাটফর্ম, তার ঘন খনিজ গঠন (ঘনত্ব ≥২.৭ গ্রাম/ঘন সেমি) এবং উচ্চ কাঠিন্যের (মোহস স্কেলে ৬-৭) কারণে, দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারে সহজে ক্ষয় বা ভাঙনের শিকার হয় না। পরিমাপকৃত ফলাফল থেকে দেখা যায় যে, এগুলি স্টেইনলেস স্টিল প্ল্যাটফর্মের তুলনায় ডিটেকশন যন্ত্রপাতির এলাকার বাতাসে ভাসমান কণার ঘনত্ব ৪০%-এর বেশি কমাতে পারে এবং কার্যকরভাবে ক্লিনরুমের গ্রেড মান বজায় রাখে।
এর পরিষ্কার বৈশিষ্ট্যের পাশাপাশি, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মের সামগ্রিক কার্যক্ষমতা স্টেইনলেস স্টিলের চেয়েও অনেক বেশি। তাপীয় স্থিতিশীলতার ক্ষেত্রে, এর তাপীয় প্রসারণ সহগ মাত্র (4-8) ×10⁻⁶/℃, যা স্টেইনলেস স্টিলের (প্রায় 17×10⁻⁶/℃) অর্ধেকেরও কম। এটি ক্লিন রুমের তাপমাত্রার ওঠানামার সময় সনাক্তকরণ যন্ত্রের অবস্থানগত নির্ভুলতা আরও ভালোভাবে বজায় রাখতে পারে। এর উচ্চ ড্যাম্পিং বৈশিষ্ট্য (ড্যাম্পিং অনুপাত > 0.05) যন্ত্রের কম্পন দ্রুত কমাতে পারে এবং সনাক্তকরণ প্রোবকে কাঁপা থেকে রক্ষা করে। এর স্বাভাবিক ক্ষয়রোধী ক্ষমতার কারণে, অতিরিক্ত আবরণের সুরক্ষা ছাড়াই এটি ফটোরেজিস্ট দ্রাবক, এচিং গ্যাস এবং অন্যান্য রাসায়নিকের সংস্পর্শে এলেও স্থিতিশীল থাকে।
বর্তমানে, উন্নত ওয়েফার উৎপাদন কেন্দ্রগুলিতে গ্রানাইট প্ল্যাটফর্ম ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হচ্ছে। তথ্য থেকে দেখা যায় যে, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্ম ব্যবহারের পর ওয়েফারের উপরিভাগের কণা শনাক্তকরণের ভুলের হার ৬০% কমেছে, যন্ত্রপাতির ক্রমাঙ্কন চক্র তিনগুণ বৃদ্ধি পেয়েছে এবং সামগ্রিক উৎপাদন খরচ ২৫% হ্রাস পেয়েছে। সেমিকন্ডাক্টর শিল্প যখন উচ্চতর নির্ভুলতার দিকে অগ্রসর হচ্ছে, তখন গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলো তাদের শূন্য ধাতব আয়ন নির্গমন এবং কম কণা দূষণের মতো মূল সুবিধাগুলোর মাধ্যমে ওয়েফার পরিদর্শনে স্থিতিশীল ও নির্ভরযোগ্য সহায়তা প্রদান করে যাবে এবং এই শিল্পের অগ্রগতির একটি গুরুত্বপূর্ণ চালিকাশক্তি হয়ে উঠবে।
পোস্ট করার সময়: ২০-মে-২০২৫