গ্রানাইট নির্ভুলতা প্ল্যাটফর্মের সমতলতা সনাক্তকরণ পদ্ধতি।

নির্ভুলতা উৎপাদন এবং বৈজ্ঞানিক গবেষণার ক্ষেত্রে, গ্রানাইট নির্ভুলতা প্ল্যাটফর্মের সমতলতা সরঞ্জামের নির্ভুলতা নিশ্চিত করার জন্য একটি মূল সূচক। আপনার জন্য কয়েকটি মূলধারার সনাক্তকরণ পদ্ধতি এবং তাদের পরিচালনা পদ্ধতির একটি বিশদ ভূমিকা নীচে দেওয়া হল।
I. লেজার ইন্টারফেরোমিটার সনাক্তকরণ পদ্ধতি
উচ্চ-নির্ভুলতা সমতলতা সনাক্তকরণের জন্য লেজার ইন্টারফেরোমিটার হল পছন্দের হাতিয়ার। ZYGO GPI XP লেজার ইন্টারফেরোমিটারের উদাহরণ নিন, এর রেজোলিউশন 0.1nm পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে। সনাক্তকরণ পরিচালনা করার সময়, প্রথমে ইন্টারফেরোমিটারের আলোর উৎসকে প্ল্যাটফর্মের সাথে সারিবদ্ধ করুন এবং প্ল্যাটফর্ম পৃষ্ঠকে 50mm×50mm গ্রিড এলাকায় ভাগ করুন। পরবর্তীকালে, হস্তক্ষেপ ফ্রিঞ্জ ডেটা বিন্দু বিন্দু সংগ্রহ করা হয়েছিল, এবং সমতলতা ত্রুটি পেতে Zernike বহুপদী ব্যবহার করে ডেটা স্থাপন এবং বিশ্লেষণ করা হয়েছিল। এই পদ্ধতিটি উচ্চ-নির্ভুলতা প্ল্যাটফর্মের ক্ষেত্রে প্রযোজ্য এবং ≤0.5μm/m² এর সমতলতা ত্রুটি সনাক্ত করতে পারে। এটি সাধারণত ফটোলিথোগ্রাফি মেশিন এবং উচ্চ-স্তরের তিন-সমন্বয় পরিমাপ মেশিন প্ল্যাটফর্ম সনাক্তকরণে ব্যবহৃত হয়।
II. ইলেকট্রনিক লেভেল অ্যারে পদ্ধতি
ইলেকট্রনিক লেভেল অ্যারে সনাক্তকরণ পরিচালনা করা সহজ এবং অত্যন্ত দক্ষ। TESA A2 ইলেকট্রনিক লেভেল (0.01μm/m রেজোলিউশন সহ) প্ল্যাটফর্মের X/Y অক্ষের দিক বরাবর 9×9 অ্যারেতে নির্বাচন করা হয়েছিল এবং সাজানো হয়েছিল। প্রতিটি স্তরের প্রবণতার তথ্য সমকালীনভাবে সংগ্রহ করে এবং তারপর গণনার জন্য সর্বনিম্ন বর্গ পদ্ধতি ব্যবহার করে, সমতলতা মান সঠিকভাবে পাওয়া যেতে পারে। এই পদ্ধতিটি প্ল্যাটফর্মের স্থানীয় অবতলতা এবং উত্তলতা অবস্থা কার্যকরভাবে সনাক্ত করতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, 50 মিমি পরিসরের মধ্যে 0.2μm এর ওঠানামাও সনাক্ত করা যেতে পারে, যা ব্যাপক উৎপাদনে দ্রুত সনাক্তকরণের জন্য উপযুক্ত।
IIII. অপটিক্যাল ফ্ল্যাট স্ফটিক পদ্ধতি
অপটিক্যাল ফ্ল্যাট স্ফটিক পদ্ধতিটি ছোট এলাকা ভিত্তিক প্ল্যাটফর্ম সনাক্তকরণের জন্য উপযুক্ত। প্ল্যাটফর্মে পরীক্ষা করার জন্য অপটিক্যাল ফ্ল্যাট স্ফটিকটিকে পৃষ্ঠের সাথে শক্তভাবে সংযুক্ত করুন এবং একরঙা আলোর উৎসের (যেমন একটি সোডিয়াম ল্যাম্প) আলোকসজ্জার অধীনে তাদের মধ্যে গঠিত হস্তক্ষেপের প্রান্তগুলি পর্যবেক্ষণ করুন। যদি স্ট্রাইপগুলি সমান্তরাল সরল স্ট্রাইপ হয়, তবে এটি ভাল সমতলতা নির্দেশ করে। যদি বাঁকা স্ট্রাইপগুলি দেখা যায়, তাহলে স্ট্রাইপ বক্রতার ডিগ্রির উপর ভিত্তি করে সমতলতা ত্রুটি গণনা করুন। প্রতিটি বাঁকা স্ট্রাইপ 0.316μm উচ্চতার পার্থক্য উপস্থাপন করে এবং সহজ রূপান্তরের মাধ্যমে সমতলতার তথ্য পাওয়া যেতে পারে।
চার. তিন-সমন্বয় পরিমাপ যন্ত্র পরিদর্শন পদ্ধতি
ত্রি-সমন্বয় পরিমাপ যন্ত্রটি ত্রি-মাত্রিক স্থানে উচ্চ-নির্ভুলতা পরিমাপ অর্জন করতে পারে। পরিমাপ যন্ত্রের ওয়ার্কটেবিলে গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মটি রাখুন এবং প্ল্যাটফর্মের পৃষ্ঠের একাধিক পরিমাপ বিন্দু থেকে সমানভাবে তথ্য সংগ্রহ করতে প্রোব ব্যবহার করুন। পরিমাপ যন্ত্র সিস্টেম প্ল্যাটফর্মের সমতলতা প্রতিবেদন তৈরি করতে এই তথ্যগুলি প্রক্রিয়া করে এবং বিশ্লেষণ করে। এই পদ্ধতিটি কেবল সমতলতা সনাক্ত করতে পারে না, একই সাথে প্ল্যাটফর্মের অন্যান্য জ্যামিতিক পরামিতিও পেতে পারে এবং বৃহৎ গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলির ব্যাপক সনাক্তকরণের জন্য উপযুক্ত।
এই সনাক্তকরণ পদ্ধতিগুলি আয়ত্ত করা আপনাকে গ্রানাইট নির্ভুলতা প্ল্যাটফর্মের সমতলতা সঠিকভাবে মূল্যায়ন করতে এবং নির্ভুল সরঞ্জামের স্থিতিশীল পরিচালনার জন্য একটি নির্ভরযোগ্য গ্যারান্টি প্রদান করতে সহায়তা করতে পারে।