উচ্চমানের উৎপাদন এবং অত্যাধুনিক বৈজ্ঞানিক গবেষণার ক্ষেত্রে, এয়ার ফ্লোটের অতি-নির্ভুল গতি মডিউলটি তার চমৎকার নির্ভুলতা কর্মক্ষমতার সাথে সূক্ষ্ম পরিচালনা এবং পরিমাপের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ সরঞ্জাম হয়ে উঠেছে। গ্রানাইট নির্ভুলতা ভিত্তি, সমর্থন কোর হিসাবে, কাজের পরিবেশের জন্য কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে এবং উপযুক্ত পরিবেশগত পরিস্থিতি হল এর স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা এবং সর্বোত্তম প্রভাব নিশ্চিত করার ভিত্তি।
প্রথমত, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ: নির্ভুল "স্টেবিলাইজার"
যদিও গ্রানাইট তার স্থিতিশীলতার জন্য পরিচিত, তবুও এটি তাপমাত্রার পরিবর্তনের জন্য সম্পূর্ণরূপে অনাক্রম্য নয়। যদিও এর তাপীয় প্রসারণের সহগ কম, সাধারণত 5-7 ×10⁻⁶/℃, অতি-নির্ভুল গতি নিয়ন্ত্রণ পরিস্থিতিতে, সূক্ষ্ম তাপমাত্রার ওঠানামা এখনও মাত্রিক পরিবর্তন ঘটাতে পারে এবং মডিউলের নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করতে পারে। সেমিকন্ডাক্টর চিপ তৈরির কর্মশালায়, লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার জন্য একটি ড্যানামি-স্তরের অবস্থান নির্ভুলতা প্রয়োজন, এবং পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা 1 ° C দ্বারা ওঠানামা করে, এবং 1 মিটার পার্শ্ব দৈর্ঘ্যের গ্রানাইট বেস 5-7 মাইক্রনের রৈখিক প্রসারণ বা সংকোচন তৈরি করতে পারে। এই ছোট পরিবর্তনটি এয়ার ফ্লোটের অতি-নির্ভুল গতি মডিউল দ্বারা প্রেরণ করা হয়, যা চিপ লিথোগ্রাফি প্যাটার্ন বিচ্যুতি করতে এবং ফলনকে ব্যাপকভাবে হ্রাস করতে যথেষ্ট। অতএব, বায়ু ভাসমান অতি-নির্ভুলতা গতি মডিউলের গ্রানাইট নির্ভুলতা বেস দিয়ে সজ্জিত, আদর্শ কর্ম পরিবেশের তাপমাত্রা 20 ° C ± 1 ° C এ নিয়ন্ত্রণ করা উচিত, উচ্চ-নির্ভুলতা ধ্রুবক তাপমাত্রা সরঞ্জামের সাহায্যে, যেমন ধ্রুবক তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা এয়ার কন্ডিশনিং সিস্টেম, ক্রমাগত পর্যবেক্ষণ এবং পরিবেষ্টিত তাপমাত্রার সমন্বয়, যাতে খুব ছোট পরিসরে তাপমাত্রার ওঠানামা নিশ্চিত করা যায়, বেস আকারের স্থিতিশীলতা বজায় রাখা যায়, যাতে মডিউলটি উচ্চ-নির্ভুলতা অপারেশন নিশ্চিত করা যায়।
দ্বিতীয়ত, আর্দ্রতা ব্যবস্থাপনা: আর্দ্রতা-প্রমাণ সুরক্ষার চাবিকাঠি "পাথর"
আর্দ্রতা হল নির্ভুল গ্রানাইট বেসের কর্মক্ষমতাকে প্রভাবিত করে এমন আরেকটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয়। উচ্চ আর্দ্রতা পরিবেশে, গ্রানাইট জলীয় বাষ্প শোষণ করা সহজ, যা পৃষ্ঠে ঘনীভবনের কারণ হতে পারে, যা কেবল গ্রানাইটের সংযোগ স্থায়িত্ব এবং বায়ু ভাসের অতি-নির্ভুল গতি মডিউলকেই প্রভাবিত করে না, বরং দীর্ঘমেয়াদে পৃষ্ঠের ক্ষয় এবং গ্লস এবং নির্ভুলতা হ্রাস করতে পারে। অপটিক্যাল লেন্স গ্রাইন্ডিং ওয়ার্কশপে, যদি দীর্ঘ সময়ের জন্য আর্দ্রতা 60% RH-এর বেশি থাকে, তাহলে গ্রানাইট বেসের পৃষ্ঠে শোষিত জলীয় বাষ্প গ্যাস ফ্লোট স্লাইডারের চলাচলে হস্তক্ষেপ করবে, যার ফলে লেন্স গ্রাইন্ডিং নির্ভুলতা হ্রাস পাবে এবং পৃষ্ঠটি ত্রুটিপূর্ণ হবে। অতএব, কর্ম পরিবেশের আপেক্ষিক আর্দ্রতা 40%-60% RH-এর মধ্যে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করা উচিত, যা উচ্চ আর্দ্রতার কারণে গ্রানাইট বেসের ক্ষতি এড়াতে এবং বায়ু ভাসের অতি-নির্ভুল গতি মডিউলের মসৃণ পরিচালনা নিশ্চিত করার জন্য ডিহিউমিডিফায়ার, আর্দ্রতা সেন্সর এবং অন্যান্য সরঞ্জাম ইনস্টল করে বাস্তব সময়ে পর্যবেক্ষণ এবং সামঞ্জস্য করা যেতে পারে।
তৃতীয়ত, পরিচ্ছন্নতার গ্যারান্টি: নির্ভুলতার "রক্ষক"
এয়ার ফ্লোটেশনের অতি-নির্ভুলতা গতি মডিউলের নির্ভুলতা গ্রানাইট বেসের উপর ধূলিকণার ক্ষতিকে অবমূল্যায়ন করা যায় না। একবার ক্ষুদ্র কণাগুলি গ্যাস ফ্লোট স্লাইডার এবং গ্রানাইট বেসের মধ্যে গ্যাস ফিল্মের ফাঁকে প্রবেশ করলে, তারা গ্যাস ফিল্মের অভিন্নতা নষ্ট করতে পারে, ঘর্ষণ বৃদ্ধি করতে পারে এবং এমনকি বেসের পৃষ্ঠে আঁচড় দিতে পারে, যার ফলে চলাচলের নির্ভুলতা হ্রাস পেতে পারে। মহাকাশ যন্ত্রাংশের অতি-নির্ভুলতা মেশিনিং ওয়ার্কশপে, যদি বাতাসে ধূলিকণা গ্রানাইট বেসের উপর পড়ে, তাহলে মেশিনিং টুলের গতিপথ বিচ্যুত হতে পারে, যা যন্ত্রাংশের যন্ত্রের নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করে। অতএব, উচ্চ দক্ষতার এয়ার ফিল্টার (HEPA) এর মতো বায়ু পরিশোধন সরঞ্জাম স্থাপনের মাধ্যমে কর্মক্ষেত্রটি অত্যন্ত পরিষ্কার রাখা উচিত, 10,000 বা তারও বেশি পরিচ্ছন্নতার মান অর্জন করা উচিত, বাতাসে ধূলিকণা ফিল্টার করা উচিত, একই সাথে, কর্মীদের ধুলো-মুক্ত পোশাক, জুতার কভার ইত্যাদি পরতে হবে, যাতে মানুষের আনা ধুলো কমানো যায়। গ্রানাইট বেস এবং এয়ার ফ্লোট অতি-নির্ভুলতা গতি মডিউলের উচ্চ নির্ভুলতা অপারেটিং পরিবেশ বজায় রাখা উচিত।
চতুর্থ, কম্পন বিচ্ছিন্নতা: "শক প্যাড" এর মসৃণ পরিচালনা
বাহ্যিক কম্পন হল এয়ার ফ্লোটের অতি-নির্ভুল গতি মডিউলের নির্ভুলতার শত্রু। যদিও নির্ভুল গ্রানাইট বেসের একটি নির্দিষ্ট কম্পন ক্ষয় ক্ষমতা রয়েছে, তবুও উচ্চ-শক্তির কম্পন তার বাফার সীমা লঙ্ঘন করতে পারে। কারখানার চারপাশে ট্র্যাফিক এবং বৃহৎ যান্ত্রিক সরঞ্জাম পরিচালনার ফলে উৎপন্ন কম্পন মাটির মধ্য দিয়ে গ্রানাইট বেসে প্রেরণ করা হয়, যা এয়ার ফ্লোটের অতি-নির্ভুল গতি মডিউলের গতি নির্ভুলতায় হস্তক্ষেপ করবে। উচ্চ-স্তরের CMM-এ, কম্পনের ফলে পরিমাপক প্রোব এবং পরিমাপ করা ওয়ার্কপিসের মধ্যে যোগাযোগ অস্থির হতে পারে, যার ফলে পরিমাপের তথ্য বিচ্যুতি হতে পারে। এই সমস্যা সমাধানের জন্য, কার্যকর কম্পন বিচ্ছিন্নতা ব্যবস্থা গ্রহণ করা প্রয়োজন, যেমন সরঞ্জাম ইনস্টলেশন এলাকায় কম্পন বিচ্ছিন্নতা প্যাড স্থাপন করা, কম্পন বিচ্ছিন্নতা ভিত্তি তৈরি করা, অথবা সক্রিয় কম্পন বিচ্ছিন্নতা ব্যবস্থা ব্যবহার করে বাহ্যিক কম্পনকে সক্রিয়ভাবে অফসেট করা এবং গ্রানাইট নির্ভুলতা বেস এবং এয়ার ফ্লোট অতি-নির্ভুল গতি মডিউলের জন্য একটি শান্ত এবং স্থিতিশীল কাজের পরিবেশ তৈরি করা।
কেবলমাত্র তাপমাত্রা, আর্দ্রতা, পরিচ্ছন্নতা এবং কম্পন নিয়ন্ত্রণের পরিবেশগত প্রয়োজনীয়তাগুলি সম্পূর্ণরূপে পূরণ করে, এয়ার ফ্লোটের অতি-নির্ভুলতা গতি মডিউলের গ্রানাইট নির্ভুলতা ভিত্তি তার কর্মক্ষমতা সুবিধাগুলিকে পূর্ণ ভূমিকা দিতে পারে, বিভিন্ন ক্ষেত্রে অতি-নির্ভুলতা ক্রিয়াকলাপের জন্য নির্ভরযোগ্য গ্যারান্টি প্রদান করতে পারে এবং শিল্পকে উচ্চতর নির্ভুলতা উৎপাদন এবং বৈজ্ঞানিক গবেষণা স্তরের দিকে এগিয়ে যেতে সহায়তা করে।
পোস্টের সময়: এপ্রিল-০৮-২০২৫