সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে, ফটোলিথোগ্রাফি মেশিন একটি মূল যন্ত্র যা চিপসের নির্ভুলতা নির্ধারণ করে এবং গ্রানাইট বেস, তার বহুমুখী বৈশিষ্ট্য সহ, ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের একটি অপরিহার্য উপাদান হয়ে উঠেছে।
তাপীয় স্থিতিশীলতা: তাপমাত্রা পরিবর্তনের বিরুদ্ধে "ঢাল"
যখন একটি ফটোলিথোগ্রাফি মেশিন চালু থাকে, তখন এটি প্রচুর পরিমাণে তাপ উৎপন্ন করে। এমনকি মাত্র 0.1℃ তাপমাত্রার ওঠানামাও সরঞ্জামের উপাদানগুলির বিকৃতি ঘটাতে পারে এবং ফটোলিথোগ্রাফির নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করতে পারে। গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণের সহগ অত্যন্ত কম, মাত্র 4-8 ×10⁻⁶/℃, যা ইস্পাতের প্রায় 1/3 এবং অ্যালুমিনিয়াম খাদের 1/5। এটি ফটোলিথোগ্রাফি মেশিন দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করার সময় বা পরিবেশগত তাপমাত্রা পরিবর্তনের সময় গ্রানাইট বেসকে মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে সক্ষম করে, অপটিক্যাল উপাদান এবং যান্ত্রিক কাঠামোর সঠিক অবস্থান নিশ্চিত করে।
সুপার অ্যান্টি-ভাইব্রেশন পারফরম্যান্স: "স্পঞ্জ" যা কম্পন শোষণ করে
একটি সেমিকন্ডাক্টর কারখানায়, আশেপাশের যন্ত্রপাতির পরিচালনা এবং মানুষের চলাচল উভয়ই কম্পন তৈরি করতে পারে। গ্রানাইটের ঘনত্ব উচ্চ এবং গঠন শক্ত, এবং এর চমৎকার স্যাঁতসেঁতে বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যার স্যাঁতসেঁতে অনুপাত ধাতুর তুলনায় 2 থেকে 5 গুণ বেশি। যখন বাহ্যিক কম্পন গ্রানাইট বেসে প্রেরণ করা হয়, তখন অভ্যন্তরীণ খনিজ স্ফটিকগুলির মধ্যে ঘর্ষণ কম্পন শক্তিকে তাপ শক্তিতে রূপান্তরিত করে যা অপচয়ের জন্য, যা অল্প সময়ের মধ্যে কম্পনকে উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করতে পারে, যা ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনকে দ্রুত স্থিতিশীলতা পুনরুদ্ধার করতে এবং কম্পনের কারণে ফটোলিথোগ্রাফি প্যাটার্নের ঝাপসা বা ভুল সারিবদ্ধতা এড়াতে দেয়।
রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: একটি পরিষ্কার পরিবেশের "অভিভাবক"
একটি ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের অভ্যন্তরভাগ বিভিন্ন রাসায়নিক মাধ্যমের সংস্পর্শে আসে এবং সাধারণ ধাতব পদার্থগুলি ক্ষয় বা কণা নির্গত হওয়ার ঝুঁকিতে থাকে। গ্রানাইট কোয়ার্টজ এবং ফেল্ডস্পারের মতো খনিজ পদার্থ দিয়ে গঠিত। এর স্থিতিশীল রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য এবং শক্তিশালী ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে। অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় দ্রবণে ভিজিয়ে রাখার পরে, পৃষ্ঠের ক্ষয় অত্যন্ত কম হয়। এদিকে, এর ঘন কাঠামো প্রায় কোনও ধ্বংসাবশেষ বা ধুলো তৈরি করে না, যা সর্বোচ্চ ক্লিনরুম মান পূরণ করে এবং ওয়েফার দূষণের ঝুঁকি হ্রাস করে।
প্রক্রিয়াজাতকরণ অভিযোজনযোগ্যতা: সুনির্দিষ্ট মানদণ্ড তৈরির জন্য "আদর্শ উপাদান"
ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের মূল উপাদানগুলি উচ্চ-নির্ভুলতা রেফারেন্স পৃষ্ঠে ইনস্টল করা প্রয়োজন। গ্রানাইটের অভ্যন্তরীণ কাঠামো অভিন্ন এবং গ্রাইন্ডিং, পলিশিং এবং অন্যান্য কৌশলগুলির মাধ্যমে অত্যন্ত উচ্চ নির্ভুলতায় প্রক্রিয়া করা সহজ। এর সমতলতা ≤0.5μm/m পৌঁছাতে পারে এবং পৃষ্ঠের রুক্ষতা Ra ≤0.05μm, যা অপটিক্যাল লেন্সের মতো উপাদানগুলির জন্য একটি সুনির্দিষ্ট ইনস্টলেশন ভিত্তি প্রদান করে।
দীর্ঘ জীবনকাল এবং রক্ষণাবেক্ষণ-মুক্ত: খরচ কমানোর জন্য "তীক্ষ্ণ সরঞ্জাম"
দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের ফলে ক্লান্তি এবং ফাটলের ঝুঁকিপূর্ণ ধাতব পদার্থের তুলনায়, গ্রানাইট স্বাভাবিক লোডের অধীনে খুব কমই প্লাস্টিকের বিকৃতি বা ফ্র্যাকচারের মধ্য দিয়ে যায় এবং এর পৃষ্ঠের চিকিত্সার প্রয়োজন হয় না, ফলে আবরণ খোসা ছাড়ানো এবং দূষণের ঝুঁকি এড়ানো যায়। ব্যবহারিক প্রয়োগে, বহু বছর ধরে ব্যবহারের পরেও, গ্রানাইট বেসের মূল কর্মক্ষমতা সূচকগুলি এখনও স্থিতিশীল থাকতে পারে, যা সরঞ্জামের পরিচালনা এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচ হ্রাস করে।
তাপীয় স্থিতিশীলতা, কম্পন প্রতিরোধ থেকে শুরু করে রাসায়নিক জড়তা পর্যন্ত, গ্রানাইট বেসের একাধিক বৈশিষ্ট্য ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের প্রয়োজনীয়তা পুরোপুরি পূরণ করে। চিপ উৎপাদন প্রক্রিয়া উচ্চতর নির্ভুলতার দিকে এগিয়ে যাওয়ার সাথে সাথে, গ্রানাইট বেসগুলি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের ক্ষেত্রে একটি অপূরণীয় ভূমিকা পালন করতে থাকবে।
পোস্টের সময়: মে-২০-২০২৫