সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পরিদর্শনের ক্ষেত্রে, ক্লিনরুম পরিবেশের বিশুদ্ধতা সরাসরি পণ্যের উৎপাদনের সাথে সম্পর্কিত। চিপ উৎপাদন প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা উন্নত হওয়ার সাথে সাথে, সনাক্তকরণ সরঞ্জামের বহনকারী প্ল্যাটফর্মের প্রয়োজনীয়তা ক্রমশ কঠোর হয়ে উঠছে। গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলি, শূন্য ধাতব আয়ন নিঃসরণ এবং কম কণা দূষণের বৈশিষ্ট্য সহ, ঐতিহ্যবাহী স্টেইনলেস স্টিল উপকরণগুলিকে ছাড়িয়ে গেছে এবং ওয়েফার পরিদর্শন সরঞ্জামের জন্য পছন্দের সমাধান হয়ে উঠেছে।
গ্রানাইট একটি প্রাকৃতিক আগ্নেয় শিলা যা মূলত কোয়ার্টজ, ফেল্ডস্পার এবং মাইকার মতো অধাতুবিহীন খনিজ পদার্থ দ্বারা গঠিত। এই বৈশিষ্ট্য এটিকে শূন্য ধাতব আয়ন নিঃসরণের সুবিধা দেয়। বিপরীতে, লোহা, ক্রোমিয়াম এবং নিকেলের মতো ধাতুর সংকর ধাতু হিসেবে স্টেইনলেস স্টিল, পরিষ্কার কক্ষের পরিবেশে জলীয় বাষ্প এবং অ্যাসিডিক বা ক্ষারীয় গ্যাসের ক্ষয়ের কারণে তার পৃষ্ঠে তড়িৎ রাসায়নিক ক্ষয়ের ঝুঁকিতে থাকে, যার ফলে Fe²⁺ এবং Cr³⁺ এর মতো ধাতব আয়নগুলির বৃষ্টিপাত হয়। একবার এই ক্ষুদ্র আয়নগুলি ওয়েফারের পৃষ্ঠের সাথে সংযুক্ত হয়ে গেলে, তারা ফটোলিথোগ্রাফি এবং এচিংয়ের মতো পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলিতে অর্ধপরিবাহী উপাদানের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে পরিবর্তন করবে, ট্রানজিস্টরের থ্রেশহোল্ড ভোল্টেজ ড্রিফ্ট সৃষ্টি করবে এবং এমনকি সার্কিটে শর্ট সার্কিটের দিকে পরিচালিত করবে। পেশাদার প্রতিষ্ঠানের পরীক্ষার তথ্য দেখায় যে গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মটি 1000 ঘন্টা ধরে একটি সিমুলেটেড পরিষ্কার কক্ষের তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা পরিবেশে (23±0.5℃, 45%±5% RH) ক্রমাগত উন্মুক্ত থাকার পরে, ধাতব আয়নগুলির নিঃসরণ সনাক্তকরণ সীমার (< 0.1ppb) চেয়ে কম ছিল। স্টেইনলেস স্টিল প্ল্যাটফর্ম ব্যবহার করার সময় ধাতব আয়ন দূষণের কারণে ওয়েফারের ত্রুটির হার 15% থেকে 20% পর্যন্ত হতে পারে।
কণা দূষণ নিয়ন্ত্রণের ক্ষেত্রে, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলিও ব্যতিক্রমীভাবে ভালো কাজ করে। ক্লিনরুমগুলিতে বাতাসে ঝুলন্ত কণার ঘনত্বের জন্য অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, ISO ক্লাস 1 ক্লিনরুমে, প্রতি ঘনমিটারে অনুমোদিত 0.1μm কণার সংখ্যা 10 এর বেশি হয় না। স্টেইনলেস স্টিলের প্ল্যাটফর্মটি পলিশিং ট্রিটমেন্টের মধ্য দিয়ে গেলেও, এটি এখনও সরঞ্জামের কম্পন এবং কর্মীদের অপারেশনের মতো বাহ্যিক শক্তির কারণে ধাতব ধ্বংসাবশেষ বা অক্সাইড স্কেল খোসা ছাড়িয়ে যেতে পারে, যা সনাক্তকরণ অপটিক্যাল পথে হস্তক্ষেপ করতে পারে বা ওয়েফারের পৃষ্ঠে আঁচড় দিতে পারে। গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলি, তাদের ঘন খনিজ কাঠামো (ঘনত্ব ≥2.7g/cm³) এবং উচ্চ কঠোরতা (মোহস স্কেলে 6-7), দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের সময় ক্ষয় বা ভাঙনের ঝুঁকিতে থাকে না। পরিমাপিত পরিমাপগুলি দেখায় যে তারা সনাক্তকরণ সরঞ্জাম এলাকার বাতাসে ঝুলন্ত কণার ঘনত্ব স্টেইনলেস স্টিল প্ল্যাটফর্মের তুলনায় 40% এরও বেশি কমাতে পারে, কার্যকরভাবে ক্লিনরুম গ্রেড মান বজায় রাখে।
পরিষ্কার বৈশিষ্ট্যের পাশাপাশি, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মের ব্যাপক কর্মক্ষমতা স্টেইনলেস স্টিলের চেয়ে অনেক বেশি। তাপীয় স্থিতিশীলতার দিক থেকে, এর তাপীয় প্রসারণের সহগ মাত্র (4-8) ×10⁻⁶/℃, যা স্টেইনলেস স্টিলের (প্রায় 17×10⁻⁶/℃) অর্ধেকেরও কম, যা পরিষ্কার ঘরে তাপমাত্রা ওঠানামা করলে সনাক্তকরণ সরঞ্জামের অবস্থান নির্ভুলতা আরও ভালভাবে বজায় রাখতে পারে। উচ্চ স্যাঁতসেঁতে বৈশিষ্ট্য (স্যাঁতসেঁতে অনুপাত > 0.05) দ্রুত সরঞ্জামের কম্পন কমাতে পারে এবং সনাক্তকরণ প্রোবকে কাঁপতে বাধা দিতে পারে। এর প্রাকৃতিক জারা প্রতিরোধের ফলে অতিরিক্ত আবরণ সুরক্ষার প্রয়োজন ছাড়াই ফটোরেজিস্ট দ্রাবক, এচিং গ্যাস এবং অন্যান্য রাসায়নিকের সংস্পর্শে এলেও এটি স্থিতিশীল থাকতে সক্ষম হয়।
বর্তমানে, উন্নত ওয়েফার উৎপাদন কারখানাগুলিতে গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। তথ্য দেখায় যে গ্রানাইট প্ল্যাটফর্ম গ্রহণের পর, ওয়েফার পৃষ্ঠের কণা সনাক্তকরণের ভুল বিচারের হার 60% হ্রাস পেয়েছে, সরঞ্জামের ক্রমাঙ্কন চক্র তিনগুণ বৃদ্ধি পেয়েছে এবং সামগ্রিক উৎপাদন খরচ 25% হ্রাস পেয়েছে। সেমিকন্ডাক্টর শিল্প উচ্চ নির্ভুলতার দিকে এগিয়ে যাওয়ার সাথে সাথে, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলি, শূন্য ধাতব আয়ন নিঃসরণ এবং কম কণা দূষণের মতো তাদের মূল সুবিধাগুলির সাথে, ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য স্থিতিশীল এবং নির্ভরযোগ্য সহায়তা প্রদান করে চলবে, যা শিল্পের অগ্রগতির একটি গুরুত্বপূর্ণ শক্তি হয়ে উঠবে।
পোস্টের সময়: মে-২০-২০২৫