সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন এবং নির্ভুলতা পরিমাপ যন্ত্রের মতো ক্ষেত্রগুলিতে, গ্রানাইট নির্ভুলতা প্ল্যাটফর্মের নির্ভুলতা সরাসরি সরঞ্জামের কার্যক্ষম গুণমান নির্ধারণ করে। প্ল্যাটফর্মের নির্ভুলতা মান পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য, দুটি দিক থেকে প্রচেষ্টা করা উচিত: মূল সূচকগুলি সনাক্তকরণ এবং মানক নিয়মগুলির সাথে সম্মতি।
মূল সূচক সনাক্তকরণ: নির্ভুলতার বহুমাত্রিক নিয়ন্ত্রণ
সমতলতা সনাক্তকরণ: রেফারেন্স সমতলের "সমতলতা" নির্ধারণ করা
গ্রানাইট নির্ভুলতা প্ল্যাটফর্মের মূল সূচক হল সমতলতা, এবং এটি সাধারণত লেজার ইন্টারফেরোমিটার বা ইলেকট্রনিক স্তর দ্বারা পরিমাপ করা হয়। লেজার ইন্টারফেরোমিটার একটি লেজার রশ্মি নির্গত করে এবং হালকা হস্তক্ষেপের নীতি ব্যবহার করে প্ল্যাটফর্ম পৃষ্ঠের ক্ষুদ্রতম অস্থিরতা সঠিকভাবে পরিমাপ করতে পারে, যার নির্ভুলতা সাব-মাইক্রন স্তরে পৌঁছায়। ইলেকট্রনিক স্তরটি একাধিকবার নড়াচড়া করে পরিমাপ করে এবং কোনও স্থানীয় প্রোট্রুশন বা অবনতি আছে কিনা তা সনাক্ত করার জন্য প্ল্যাটফর্ম পৃষ্ঠের একটি ত্রিমাত্রিক কনট্যুর মানচিত্র আঁকে। উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনে ব্যবহৃত গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মগুলির সমতলতা ±0.5μm/m থাকা প্রয়োজন, যার অর্থ হল 1-মিটার দৈর্ঘ্যের মধ্যে উচ্চতার পার্থক্য অর্ধেক মাইক্রোমিটারের বেশি হওয়া উচিত নয়। শুধুমাত্র উচ্চ-নির্ভুলতা সনাক্তকরণ সরঞ্জামের মাধ্যমেই এই কঠোর মান নিশ্চিত করা যেতে পারে।
2. সরলতা সনাক্তকরণ: রৈখিক গতির "সরলতা" নিশ্চিত করুন
যেসব প্ল্যাটফর্মে নির্ভুল চলমান যন্ত্রাংশ থাকে, তাদের জন্য সরলতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। সনাক্তকরণের সাধারণ পদ্ধতি হল তারের পদ্ধতি বা লেজার কলিমেটর। তারের পদ্ধতিতে উচ্চ-নির্ভুল ইস্পাত তারগুলিকে ঝুলিয়ে সোজা করা হয় এবং প্ল্যাটফর্মের পৃষ্ঠ এবং ইস্পাত তারের মধ্যে ফাঁক তুলনা করে সরলতা নির্ধারণ করা হয়। লেজার কলিমেটর প্ল্যাটফর্ম গাইড রেলের ইনস্টলেশন পৃষ্ঠের রৈখিক ত্রুটি সনাক্ত করতে লেজারের রৈখিক প্রচার বৈশিষ্ট্য ব্যবহার করে। যদি সরলতা মান পূরণ না করে, তাহলে এটি চলাচলের সময় সরঞ্জামগুলিকে স্থানান্তরিত করবে, যা প্রক্রিয়াকরণ বা পরিমাপের নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করবে।
৩. পৃষ্ঠের রুক্ষতা সনাক্তকরণ: যোগাযোগের "সূক্ষ্মতা" নিশ্চিত করুন
প্ল্যাটফর্মের পৃষ্ঠের রুক্ষতা উপাদান ইনস্টলেশনের ফিটকে প্রভাবিত করে। সাধারণত, সনাক্তকরণের জন্য একটি স্টাইলাস রুক্ষতা মিটার বা একটি অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপ ব্যবহার করা হয়। স্টাইলাস ধরণের যন্ত্রটি একটি সূক্ষ্ম প্রোবের সাহায্যে প্ল্যাটফর্ম পৃষ্ঠের সাথে যোগাযোগ করে মাইক্রোস্কোপিক প্রোফাইলের উচ্চতার পরিবর্তন রেকর্ড করে। অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপ সরাসরি পৃষ্ঠের গঠন পর্যবেক্ষণ করতে পারে। উচ্চ-নির্ভুলতা প্রয়োগে, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মের পৃষ্ঠের রুক্ষতা Ra≤0.05μm এ নিয়ন্ত্রণ করা প্রয়োজন, যা একটি আয়নার মতো প্রভাবের সমতুল্য, নিশ্চিত করে যে ইনস্টলেশনের সময় নির্ভুলতা উপাদানগুলি শক্তভাবে ফিট করে এবং ফাঁকের কারণে কম্পন বা স্থানচ্যুতি এড়ানো যায়।
নির্ভুলতার মানগুলি নিম্নরূপ: আন্তর্জাতিক নিয়ম এবং এন্টারপ্রাইজের অভ্যন্তরীণ নিয়ন্ত্রণ
বর্তমানে, আন্তর্জাতিকভাবে, গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মের নির্ভুলতা নির্ধারণের ভিত্তি হিসেবে ISO 25178 এবং GB/T 24632 মান সাধারণত ব্যবহৃত হয় এবং সমতলতা এবং সরলতার মতো সূচকগুলির জন্য স্পষ্ট শ্রেণীবিভাগ রয়েছে। এছাড়াও, উচ্চমানের উৎপাদনকারী প্রতিষ্ঠানগুলি প্রায়শই আরও কঠোর অভ্যন্তরীণ নিয়ন্ত্রণ মান নির্ধারণ করে। উদাহরণস্বরূপ, ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের গ্রানাইট প্ল্যাটফর্মের সমতলতার প্রয়োজনীয়তা আন্তর্জাতিক মানের তুলনায় 30% বেশি। পরীক্ষা পরিচালনা করার সময়, পরিমাপ করা তথ্য সংশ্লিষ্ট মানগুলির সাথে তুলনা করা উচিত। কেবলমাত্র মানগুলি সম্পূর্ণরূপে মেনে চলা প্ল্যাটফর্মগুলিই নির্ভুল সরঞ্জামগুলিতে স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করতে পারে।
গ্রানাইট নির্ভুলতা প্ল্যাটফর্মের নির্ভুলতা পরীক্ষা করা একটি পদ্ধতিগত প্রকল্প। শুধুমাত্র সমতলতা, সরলতা এবং পৃষ্ঠের রুক্ষতার মতো মূল সূচকগুলি কঠোরভাবে পরীক্ষা করে এবং আন্তর্জাতিক এবং এন্টারপ্রাইজ মান মেনে চলার মাধ্যমে, প্ল্যাটফর্মের উচ্চ নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করা যেতে পারে, যা সেমিকন্ডাক্টর এবং নির্ভুলতা যন্ত্রের মতো উচ্চমানের উত্পাদন ক্ষেত্রগুলির জন্য একটি শক্ত ভিত্তি স্থাপন করে।
পোস্টের সময়: মে-২১-২০২৫