সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের সুনির্দিষ্ট শৃঙ্খলে, ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেম "চিপ উৎপাদন লাইনের জীবনরেখা" এর মতো, এবং এর স্থিতিশীলতা এবং নির্ভুলতা সরাসরি চিপগুলির ফলন হার নির্ধারণ করে। নতুন প্রজন্মের ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমগুলি বিপ্লবীভাবে গ্রানাইট বেসের সাথে রৈখিক মোটরগুলিকে একত্রিত করে এবং গ্রানাইট উপকরণগুলির অনন্য সুবিধাগুলি উচ্চ-কার্যক্ষমতা ট্রান্সমিশন আনলক করার জন্য অবিকল মূল কোড।
গ্রানাইট বেস: স্থিতিশীল ট্রান্সমিশনের জন্য একটি "পাথরের মতো শক্ত ভিত্তি" তৈরি করা
গ্রানাইট, লক্ষ লক্ষ বছরের ভূতাত্ত্বিক পরিমার্জনের মধ্য দিয়ে গেছে, ঘন এবং অভিন্ন অভ্যন্তরীণ খনিজ স্ফটিকীকরণ বৈশিষ্ট্যযুক্ত। এই প্রাকৃতিক বৈশিষ্ট্য এটিকে ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের জন্য একটি আদর্শ বেস উপাদান করে তোলে। সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমের জটিল পরিবেশে, গ্রানাইট, তার অতি-নিম্ন তাপীয় প্রসারণ সহগ (মাত্র 5-7 ×10⁻⁶/℃) সহ, সরঞ্জাম পরিচালনার সময় উৎপন্ন তাপ এবং পরিবেশগত তাপমাত্রা পরিবর্তনের প্রভাব প্রতিরোধ করতে পারে, বেস আকারের স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে এবং তাপীয় বিকৃতির কারণে সৃষ্ট ট্রান্সমিশন পথের বিচ্যুতি এড়ায়। এর অসাধারণ কম্পন ড্যাম্পিং কর্মক্ষমতা রৈখিক মোটরগুলির স্টার্ট-আপ, শাটডাউন এবং ত্বরণের সময় উৎপন্ন যান্ত্রিক কম্পনগুলিকে দ্রুত শোষণ করতে পারে, সেইসাথে কর্মশালায় অন্যান্য সরঞ্জাম পরিচালনার ফলে সৃষ্ট বাহ্যিক হস্তক্ষেপগুলিকেও দ্রুত শোষণ করতে পারে, ওয়েফার ট্রান্সমিশনের জন্য "শূন্য ঝাঁকুনি" সহ একটি স্থিতিশীল প্ল্যাটফর্ম প্রদান করে।
এদিকে, গ্রানাইটের রাসায়নিক স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে যে এটি অর্ধপরিবাহী কর্মশালায় ক্ষয় বা মরিচা ধরে না যেখানে অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় বিকারকগুলি অস্থির এবং উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজন হয়, ফলে উপাদানের বার্ধক্য বা দূষণকারী শোষণের কারণে সংক্রমণ নির্ভুলতার উপর প্রভাব এড়ানো যায়। মসৃণ এবং ঘন পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্যগুলি আরও কার্যকরভাবে ধুলো আঠালোতা হ্রাস করতে পারে, পরিষ্কার ঘরের কঠোর ধুলো-মুক্ত মান পূরণ করে এবং মূল থেকে ওয়েফার দূষণের ঝুঁকি দূর করে।
রৈখিক মোটর এবং গ্রানাইটের "সুবর্ণ অংশীদারিত্ব" প্রভাব
লিনিয়ার মোটর, যার বৈশিষ্ট্য হল কোন যান্ত্রিক ট্রান্সমিশন ক্লিয়ারেন্স নেই, উচ্চ ত্বরণ এবং উচ্চ প্রতিক্রিয়া গতি, ওয়েফার ট্রান্সমিশনকে "দ্রুত, নির্ভুল এবং স্থিতিশীল" সুবিধা প্রদান করে। গ্রানাইট বেস এর জন্য একটি শক্ত এবং নির্ভরযোগ্য সমর্থন প্ল্যাটফর্ম প্রদান করে। কর্মক্ষমতা বৃদ্ধির জন্য দুটি একসাথে কাজ করে। যখন লিনিয়ার মোটর গ্রানাইট বেস ট্র্যাকে ওয়েফার ক্যারিয়ার চালায়, তখন বেসের দৃঢ় দৃঢ়তা এবং স্থিতিশীলতা মোটর চালিকা শক্তির দক্ষ ট্রান্সমিশন নিশ্চিত করে, বেস বিকৃতির কারণে বল ক্ষতি বা ট্রান্সমিশন ল্যাগ এড়ায়।
ন্যানোস্কেল নির্ভুলতার চাহিদার দ্বারা চালিত, রৈখিক মোটরগুলি সাব-মাইক্রন-স্তরের স্থানচ্যুতি নিয়ন্ত্রণ অর্জন করতে পারে। গ্রানাইট বেসগুলির উচ্চ-নির্ভুল প্রক্রিয়াকরণ বৈশিষ্ট্যগুলি (±1μm এর মধ্যে সমতলতা ত্রুটি নিয়ন্ত্রণ সহ) রৈখিক মোটরগুলির সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের সাথে পুরোপুরি মেলে, যৌথভাবে নিশ্চিত করে যে ওয়েফার ট্রান্সমিশনের সময় অবস্থানগত ত্রুটি ±5μm এর কম। বিভিন্ন প্রক্রিয়া সরঞ্জামের মধ্যে উচ্চ-গতির শাটলিং হোক বা ওয়েফার হস্তান্তরের জন্য সুনির্দিষ্ট পার্কিং হোক, রৈখিক মোটর এবং গ্রানাইট বেসের সংমিশ্রণ ওয়েফার ট্রান্সমিশনে "শূন্য বিচ্যুতি এবং শূন্য জিটার" নিশ্চিত করতে পারে।
শিল্প অনুশীলন যাচাইকরণ: দক্ষতা এবং ফলনের হারে দ্বৈত উন্নতি
ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেম আপগ্রেড করার পর, একটি শীর্ষস্থানীয় বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর এন্টারপ্রাইজ একটি লিনিয়ার মোটর + গ্রানাইট বেস সলিউশন গ্রহণ করেছে, যা ওয়েফার ট্রান্সফার দক্ষতা 40% বৃদ্ধি করেছে, স্থানান্তর প্রক্রিয়ার সময় সংঘর্ষ এবং অফসেটের মতো ত্রুটির ঘটনা 85% হ্রাস করেছে এবং চিপসের সামগ্রিক ফলন হার 6% উন্নত করেছে। ডেটার পিছনে গ্রানাইট বেস দ্বারা প্রদত্ত ট্রান্সমিশন স্থিতিশীলতার গ্যারান্টি এবং লিনিয়ার মোটরের উচ্চ-গতি এবং সুনির্দিষ্ট সমন্বয় প্রভাব রয়েছে, যা ওয়েফার ট্রান্সমিশন প্রক্রিয়ায় ক্ষতি এবং ত্রুটি উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।
উপাদানের বৈশিষ্ট্য থেকে শুরু করে নির্ভুল উৎপাদন, কর্মক্ষমতা সুবিধা থেকে শুরু করে ব্যবহারিক যাচাইকরণ পর্যন্ত, রৈখিক মোটর এবং গ্রানাইট বেসের সমন্বয় ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের মানকে পুনরায় সংজ্ঞায়িত করেছে। ভবিষ্যতে যখন সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তি 3nm এবং 2nm প্রক্রিয়ার দিকে অগ্রসর হবে, তখন গ্রানাইট উপকরণগুলি অবশ্যই তাদের অপূরণীয় সুবিধাগুলির সাথে শিল্পের উন্নয়নে শক্তিশালী প্রেরণা যোগাবে।
পোস্টের সময়: মে-১৪-২০২৫