সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে, চিপের গুণমান এবং কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার জন্য ওয়েফার পরিদর্শন একটি মূল লিঙ্ক, এবং পরিদর্শন টেবিলের নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা সনাক্তকরণের ফলাফলে একটি নির্ধারক ভূমিকা পালন করে। গ্রানাইট বেস তার অনন্য বৈশিষ্ট্য সহ, সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পরিদর্শন টেবিলের জন্য আদর্শ পছন্দ হয়ে উঠেছে, আপনার জন্য বহুমাত্রিক বিশ্লেষণ থেকে নিম্নলিখিতটি।
প্রথমত, নির্ভুলতা গ্যারান্টি মাত্রা
1. অতি-উচ্চ সমতলতা এবং সরলতা: গ্রানাইট বেসটি উন্নত প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি দ্বারা প্রক্রিয়াজাত করা হয়, এবং সমতলতা ±0.001 মিমি/মিটার বা তারও বেশি নির্ভুলতায় পৌঁছাতে পারে, এবং সরলতাও চমৎকার। ওয়েফার পরিদর্শন প্রক্রিয়ায়, উচ্চ-নির্ভুলতা সমতল ওয়েফারের জন্য স্থিতিশীল সমর্থন প্রদান করে এবং পরিদর্শন সরঞ্জামের প্রোব এবং ওয়েফার পৃষ্ঠের সোল্ডার জয়েন্টগুলির মধ্যে সঠিক যোগাযোগ নিশ্চিত করে।
2. তাপীয় প্রসারণের সহগ খুবই কম: সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন তাপমাত্রার পরিবর্তনের প্রতি সংবেদনশীল, এবং গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণের সহগ অত্যন্ত কম, সাধারণত প্রায় 5×10⁻⁶/℃। যখন সনাক্তকরণ প্ল্যাটফর্মটি চলমান থাকে, এমনকি যদি পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা ওঠানামা করে, গ্রানাইট বেসের আকার খুব কম পরিবর্তিত হয়। উদাহরণস্বরূপ, গ্রীষ্মকালে উচ্চ-তাপমাত্রার কর্মশালায়, সাধারণ ধাতব বেস সনাক্তকরণ প্ল্যাটফর্মের তাপমাত্রা ওয়েফার এবং সনাক্তকরণ সরঞ্জামের আপেক্ষিক অবস্থান পরিবর্তন করতে পারে, যা সনাক্তকরণের নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করে; গ্রানাইট বেস সনাক্তকরণ প্ল্যাটফর্ম স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে, সনাক্তকরণ প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফার এবং সনাক্তকরণ সরঞ্জামের আপেক্ষিক অবস্থান নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে পারে এবং উচ্চ-নির্ভুলতা সনাক্তকরণের জন্য একটি স্থিতিশীল পরিবেশ প্রদান করতে পারে।
দ্বিতীয়ত, স্থিতিশীলতার মাত্রা
১. স্থিতিশীল গঠন এবং কম্পন প্রতিরোধ ক্ষমতা: লক্ষ লক্ষ বছরের ভূতাত্ত্বিক প্রক্রিয়ার পরে, গ্রানাইটের অভ্যন্তরীণ কাঠামো ঘন এবং অভিন্ন। একটি সেমিকন্ডাক্টর কারখানার জটিল পরিবেশে, পেরিফেরাল সরঞ্জাম এবং কর্মীদের চলাফেরা দ্বারা উৎপন্ন কম্পন গ্রানাইট বেস দ্বারা কার্যকরভাবে হ্রাস পায়।
2. দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের নির্ভুলতা: অন্যান্য উপকরণের তুলনায়, গ্রানাইটের উচ্চ কঠোরতা, শক্তিশালী পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং Mohs কঠোরতা 6-7 পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে। ঘন ঘন ওয়েফার লোডিং, আনলোডিং এবং পরিদর্শন কার্যক্রমের সময় গ্রানাইট বেস পৃষ্ঠটি সহজে জীর্ণ হয় না। তথ্য পরিসংখ্যানের প্রকৃত ব্যবহার অনুসারে, গ্রানাইট বেস টেস্টিং টেবিলের ব্যবহার, 5000 ঘন্টা পরে ক্রমাগত অপারেশন, সমতলতা এবং সরলতার নির্ভুলতা এখনও প্রাথমিক নির্ভুলতার 98% এরও বেশি বজায় রাখা যেতে পারে, নিয়মিত ক্রমাঙ্কন এবং রক্ষণাবেক্ষণের সময় বেসের ক্ষয়ের কারণে সরঞ্জামগুলি হ্রাস করে, ব্যবসায়িক অপারেটিং খরচ হ্রাস করে, পরীক্ষার কাজের দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।
তৃতীয়, পরিষ্কার এবং হস্তক্ষেপ-বিরোধী মাত্রা
১. কম ধুলো উৎপন্ন: সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন পরিবেশ অত্যন্ত পরিষ্কার হওয়া প্রয়োজন, এবং গ্রানাইট উপাদান নিজেই স্থিতিশীল এবং ধুলো কণা তৈরি করা সহজ নয়। পরীক্ষা প্ল্যাটফর্মের পরিচালনার সময়, বেস দ্বারা উৎপন্ন ধুলো ওয়েফারকে দূষিত করার জন্য এড়ানো হয় এবং ধুলো কণার কারণে শর্ট সার্কিট এবং ওপেন সার্কিটের ঝুঁকি হ্রাস পায়। ধুলো-মুক্ত কর্মশালার ওয়েফার পরিদর্শন এলাকায়, গ্রানাইট বেস পরিদর্শন টেবিলের চারপাশে ধুলোর ঘনত্ব সর্বদা অত্যন্ত নিম্ন স্তরে নিয়ন্ত্রণ করা হয়, যা সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের কঠোর পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
2. কোন চৌম্বকীয় হস্তক্ষেপ নেই: সনাক্তকরণ সরঞ্জামগুলি তড়িৎ চৌম্বকীয় পরিবেশের প্রতি সংবেদনশীল, এবং গ্রানাইট একটি অ-চৌম্বকীয় উপাদান, যা সনাক্তকরণ সরঞ্জামের ইলেকট্রনিক সংকেতে হস্তক্ষেপ করবে না। ইলেকট্রন বিম সনাক্তকরণ এবং অন্যান্য পরীক্ষার প্রযুক্তি ব্যবহারে যার জন্য অত্যন্ত উচ্চ তড়িৎ চৌম্বকীয় পরিবেশ প্রয়োজন, গ্রানাইট বেস সনাক্তকরণ সরঞ্জামের ইলেকট্রনিক সংকেতের স্থিতিশীল সংক্রমণ নিশ্চিত করে এবং পরীক্ষার ফলাফলের নির্ভুলতা নিশ্চিত করে। উদাহরণস্বরূপ, যখন ওয়েফারটি উচ্চ-নির্ভুল বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতার জন্য পরীক্ষা করা হয়, তখন অ-চৌম্বকীয় গ্রানাইট বেস সনাক্তকরণ বর্তমান এবং ভোল্টেজ সংকেতের সাথে হস্তক্ষেপ এড়ায়, যাতে সনাক্তকরণ ডেটা সত্যিই ওয়েফার বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে প্রতিফলিত করে।
পোস্টের সময়: মার্চ-৩১-২০২৫