সেমিকন্ডাক্টর প্রিসিশন স্টেজ এবং অ্যাডভান্সড মেট্রোলজিতে গ্রানাইটের গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা

বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর শিল্প বর্তমানে "অ্যাংস্ট্রম যুগ"-এর নিরলস সাধনায় নিয়োজিত, যেখানে ট্রানজিস্টরের মাত্রা মাত্র কয়েকটি পরমাণুর প্রস্থে পরিমাপ করা হয়। লিথোগ্রাফি এবং পরিদর্শন সরঞ্জামগুলি এই মাইক্রোস্কোপিক স্কেলে রূপান্তরিত হওয়ার সাথে সাথে, কাঠামোগত স্থিতিশীলতার চাহিদা "ম্যাক্রো" থেকে "ন্যানো"-তে স্থানান্তরিত হয়েছে। এই বিপ্লবের কেন্দ্রবিন্দুতে রয়েছে এমন একটি উপাদান যা পৃথিবীর মতোই প্রাচীন: প্রিসিশন গ্রানাইট।

যদিও অনেকে গ্রানাইটকে একটি সাধারণ পাথর হিসেবে দেখেন, একটি প্রেক্ষাপটেন্যানোপজিশনিং পর্যায়অথবা একটি উচ্চ-গতির ওয়েফার পরিদর্শন ব্যবস্থা, এটি একটি অত্যাধুনিক ইঞ্জিনিয়ারিং সিরামিক। সিলিকন তৈরিতে যা সম্ভব তার সীমানা অতিক্রম করতে চাওয়া OEM-দের জন্য মৌলিক মেট্রোলজি সরঞ্জাম এবং উন্নত গতি প্ল্যাটফর্মের মধ্যে পার্থক্য বোঝা অপরিহার্য।

গ্রানাইট সিএমএম বনাম গ্রানাইট সারফেস প্লেট: ইঞ্জিনিয়ারিং শিফট বোঝা

অনেক মান নিয়ন্ত্রণ ল্যাবে,গ্রানাইট সারফেস প্লেটএটি একটি সর্বব্যাপী ফিক্সচার—ম্যানুয়াল পরিমাপের জন্য একটি নির্ভরযোগ্য, সমতল রেফারেন্স। তবে, একটি সাধারণ ভুল ধারণা রয়েছে যে একটি পৃষ্ঠ প্লেট এবং একটি গ্রানাইট সিএমএম (সমন্বয় পরিমাপ যন্ত্র) ভিত্তি বিনিময়যোগ্য। প্রকৌশলগত দৃষ্টিকোণ থেকে, তারা দুটি ভিন্ন স্তরের জটিলতার প্রতিনিধিত্ব করে।

একটি পৃষ্ঠতল প্লেট স্থির স্থিতিশীলতার জন্য ডিজাইন করা হয়। এর প্রাথমিক কাজ হল একটি স্থির লোডের নিচে সমতল থাকা। বিপরীতে, একটি CMM বা একটি নির্ভুল পর্যায়ের জন্য একটি গ্রানাইট বেসকে গতিশীল লোড পরিচালনা করতে হবে। যখন একটি CMM এর সেতুটি সরে যায় বা একটি রৈখিক মোটর একটি ওয়েফার স্টেজকে বেশ কয়েকটি Gs-এ ত্বরান্বিত করে, তখন গ্রানাইটকে কেবল বাঁকানোই নয়, বরং টর্শন এবং সুরেলা অনুরণনও প্রতিরোধ করতে হবে।

ZHHIMG ইঞ্জিনিয়াররা বিশেষভাবে "ব্ল্যাক গ্রানাইট" নির্বাচন করেন কারণ এর ঘনত্ব বেশি এবং শস্যের গঠন সূক্ষ্ম। যদিও একটি স্ট্যান্ডার্ড সারফেস প্লেট আরও ছিদ্রযুক্ত বৈচিত্র্য ব্যবহার করতে পারে, একটি CMM বেসের জন্য সর্বোচ্চ সম্ভাব্য ইয়ং'স মডুলাস প্রয়োজন যাতে উচ্চ-গতির চলাচলের "স্ন্যাপ" কাঠামোগত রিংয়ে রূপান্তরিত না হয় যা পরিমাপের ডেটা দূষিত করবে।

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে যথার্থ পর্যায়: ফলনের ভিত্তি

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে, থ্রুপুট এবং ইল্ড হল দুটি সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ মেট্রিক্স। উভয়ই সরাসরি কর্মক্ষমতার উপর নির্ভরশীলনির্ভুলতার পর্যায়। DUV/EUV লিথোগ্রাফি মেশিনের ওয়েফার স্টেজ হোক বা অটোমেটেড অপটিক্যাল ইন্সপেকশন (AOI) টুলের পজিশনিং সিস্টেম, বেস ম্যাটেরিয়ালকে অবশ্যই সাব-ন্যানোমিটার রিপিটেবিলিটি সহজতর করতে হবে।

এই ফ্যাবটির প্রধান চ্যালেঞ্জ হল তাপ। লিনিয়ার মোটর এবং অ্যাকচুয়েটরগুলি উল্লেখযোগ্য তাপীয় শক্তি উৎপন্ন করে। যদি স্টেজ বেস অ্যালুমিনিয়াম বা ইস্পাত দিয়ে তৈরি হত, তাহলে তাপীয় সম্প্রসারণের ফলে ওয়েফারটি সারিবদ্ধতার বাইরে চলে যেত, যার ফলে "ওভারলে ত্রুটি" দেখা দিত যা চিপের পুরো ব্যাচগুলিকে নষ্ট করে দিত।

গ্রানাইটের অত্যন্ত কম তাপীয় প্রসারণ সহগ (CTE) নিশ্চিত করে যে মোটরগুলি উত্তপ্ত হলেও, মঞ্চের ভৌত "মানচিত্র" স্থির থাকে। তদুপরি, ZHHIMG সমন্বিত বায়ু বহন পদ্ধতি সহ কাস্টমাইজড গ্রানাইট উপাদান সরবরাহ করে। যেহেতু গ্রানাইটকে আয়নার মতো সমতলতায় ল্যাপ করা যায়, তাই এটি বায়ু বিয়ারিংয়ের জন্য নিখুঁত পাল্টা-মুখ হিসাবে কাজ করে, যা পর্যায়গুলিকে শূন্য ঘর্ষণ এবং শূন্য স্টিকশন সহ বাতাসের পাতলা ফিল্মের উপর "ভাসতে" দেয়।

ন্যানোপজিশনিং স্টেজ বেসের পদার্থবিদ্যা

যখন আমরা এই রাজ্যে প্রবেশ করিন্যানোপজিশনিং পর্যায়, আমরা মানুষের চুলের চেয়ে ১০,০০০ গুণ কম নড়াচড়ার সাথে মোকাবিলা করছি। এই স্তরে, কম্পন শত্রু। HVAC সিস্টেম, পায়ে হেঁটে যাতায়াত এবং কাছাকাছি যন্ত্রপাতির কারণে স্ট্যান্ডার্ড শিল্প মেঝে ক্রমাগত কম্পিত হয়।

গ্রানাইট একটি বিশাল লো-পাস ফিল্টার হিসেবে কাজ করে। এর উচ্চ ভর এবং উচ্চ অভ্যন্তরীণ স্যাঁতসেঁতেতার কারণে, এটি সংবেদনশীল সেন্সর বা ওয়েফারে পৌঁছানোর আগেই স্বাভাবিকভাবেই উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি কম্পন শোষণ করে। এই "প্যাসিভ আইসোলেশন"-এর কারণেই বিশ্বের শীর্ষস্থানীয় লিথোগ্রাফি সরবরাহকারীরা তাদের ভ্যাকুয়াম-সামঞ্জস্যপূর্ণ পর্যায়ের জন্য ভারী, স্থিতিশীল ভিত্তি প্রদানের জন্য ZHHIMG-এর উপর নির্ভর করে। আমাদের গ্রানাইটকে বিশেষভাবে প্রক্রিয়াজাত করা হয় যাতে শূন্য আউটগ্যাসিং নিশ্চিত করা যায়, যা এটিকে ইলেকট্রন-বিম এবং EUV প্রক্রিয়াগুলির জন্য প্রয়োজনীয় উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।

সীমা অতিক্রম করা: ZHHIMG সুবিধা

পাথরের কাঁচা ব্লক থেকে সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড উপাদানে রূপান্তর অত্যন্ত ধৈর্যের একটি যাত্রা। সিএনসি গ্রাইন্ডিং আমাদের কাছাকাছি নিয়ে যায়, তবে চূড়ান্ত "সুপার-প্রিসিশন" গ্রেডটি হাতে-ল্যাপিংয়ের মাধ্যমে অর্জন করা হয়। এটি এমন একটি প্রক্রিয়া যেখানে ZHHIMG টেকনিশিয়ানরা একবারে একটি মাইক্রনের ভগ্নাংশ কেটে ফেলার জন্য ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম পেস্ট এবং ম্যানুয়াল নড়াচড়া ব্যবহার করেন।

একটি জন্যন্যানোপজিশনিং পর্যায়, সমতলতাই একমাত্র প্রয়োজন নয়; গাইড পৃষ্ঠতলের সমান্তরালতা এবং লম্বতাও সমানভাবে গুরুত্বপূর্ণ। আমাদের সুবিধাটি প্রতিটি অক্ষ নিখুঁতভাবে সারিবদ্ধ কিনা তা যাচাই করার জন্য 0.1 আর্ক-সেকেন্ডের রেজোলিউশন সহ লেজার ট্র্যাকার এবং ইলেকট্রনিক স্তর ব্যবহার করে। এই স্তরের কারিগরি দক্ষতা নিশ্চিত করে যে যখন একজন গ্রাহক তাদের লিনিয়ার মোটর এবং এনকোডার মাউন্ট করেন, তখন যান্ত্রিক ভিত্তি পদার্থবিদ্যার অনুমতি অনুসারে "নিখুঁত" এর কাছাকাছি থাকে।

ভবিষ্যৎ-প্রমাণকারী ফ্যাব

শিল্পটি 2nm নোড এবং তার বাইরে যাওয়ার সাথে সাথে, উপাদানের বিশুদ্ধতা এবং মাত্রিক স্থিতিশীলতার প্রয়োজনীয়তা কেবল তীব্র হবে। অন্যান্য উন্নত উপকরণের সাথে গ্রানাইটের একীকরণ - যেমন কার্বন ফাইবার ব্রিজ বা সিরামিক ভ্যাকুয়াম চাক - গতি নিয়ন্ত্রণের পরবর্তী সীমানা।

ZHHIMG কেবল সরবরাহকারীর চেয়েও বেশি কিছু হতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ; আমরা বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর সরবরাহ শৃঙ্খলে একটি সহযোগী অংশীদার। পরবর্তী প্রজন্মের নির্ভুলতার পর্যায়ের জন্য প্রয়োজনীয় অতি-স্থিতিশীল ভিত্তি প্রদান করে, আমরা ভবিষ্যত তৈরির জন্য মেশিন তৈরিতে সহায়তা করছি।