অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে গ্রানাইট উপাদানগুলির জন্য মান এবং স্পেসিফিকেশনগুলি কী কী?

গ্রানাইট উপাদানগুলি তাদের উচ্চ স্থায়িত্ব এবং স্থায়িত্বের কারণে অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। তারা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির যথার্থতা এবং যথার্থতা বজায় রাখার জন্য দায়বদ্ধ। তবে গ্রানাইট উপাদানগুলির কার্যকারিতা এবং নির্ভরযোগ্যতা তাদের নকশা, বানোয়াট এবং ইনস্টলেশন চলাকালীন যে মান এবং স্পেসিফিকেশনগুলি সমর্থন করে তার উপর নির্ভর করে।

নিম্নলিখিত কিছু মান এবং স্পেসিফিকেশন রয়েছে যা সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে গ্রানাইট উপাদানগুলি ব্যবহার করার সময় অবশ্যই মেনে চলতে হবে:

1। উপাদান ঘনত্ব: গ্রানাইট উপাদানগুলির উত্পাদনতে ব্যবহৃত গ্রানাইট উপাদানের ঘনত্ব প্রায় 2.65 গ্রাম/সেমি 3 হওয়া উচিত। এটি প্রাকৃতিক গ্রানাইট উপাদানের ঘনত্ব এবং এটি গ্রানাইট উপাদানগুলির বৈশিষ্ট্যগুলিতে ধারাবাহিকতা এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।

2। ফ্ল্যাটনেস: সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত গ্রানাইট উপাদানগুলির জন্য ফ্ল্যাটনেস অন্যতম গুরুত্বপূর্ণ স্পেসিফিকেশন। গ্রানাইট পৃষ্ঠের সমতলতা 0.001 মিমি/এম 2 এর নীচে হওয়া উচিত। এটি নিশ্চিত করে যে উপাদানটির পৃষ্ঠটি সমতল এবং স্তর, যা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির জন্য প্রয়োজনীয়।

3। পৃষ্ঠের সমাপ্তি: গ্রানাইট উপাদানগুলির পৃষ্ঠের সমাপ্তি উচ্চমানের হওয়া উচিত, 0.4µm এর নীচে পৃষ্ঠের রুক্ষতা সহ। এটি নিশ্চিত করে যে গ্রানাইট উপাদানটির পৃষ্ঠের ঘর্ষণ কম সহগ রয়েছে, যা অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির মসৃণ ক্রিয়াকলাপের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

৪। তাপীয় প্রসারণ সহগ: অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম বিভিন্ন তাপমাত্রায় কাজ করে এবং গ্রানাইট উপাদানগুলি বিকৃতি ছাড়াই তাপীয় ওঠানামা প্রতিরোধ করতে সক্ষম হওয়া উচিত। অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণ সহগ 2 x 10^-6 /° C এর নীচে হওয়া উচিত।

5। মাত্রিক সহনশীলতা: গ্রানাইট উপাদানগুলির পারফরম্যান্সের জন্য মাত্রিক সহনশীলতা গুরুত্বপূর্ণ। সমস্ত সমালোচনামূলক মাত্রার জন্য গ্রানাইট উপাদানগুলির মাত্রিক সহনশীলতা ± 0.1 মিমি মধ্যে হওয়া উচিত।

6। কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের: কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত গ্রানাইট উপাদানগুলির জন্য প্রয়োজনীয় স্পেসিফিকেশন। গ্রানাইটের এমওএইচএস স্কেল 6-7 এর কঠোরতা রয়েছে, এটি অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত উপাদান হিসাবে তৈরি করে।

। বৈদ্যুতিক প্রতিরোধের 10^9 ω/সেমি এর উপরে হওয়া উচিত।

৮। রাসায়নিক প্রতিরোধের: গ্রানাইট উপাদানগুলি অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় হিসাবে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত সাধারণ রাসায়নিকগুলির বিরুদ্ধে প্রতিরোধী হওয়া উচিত।

উপসংহারে, সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত গ্রানাইট উপাদানগুলির জন্য মান এবং স্পেসিফিকেশনগুলি গুরুত্বপূর্ণ যে উপাদানগুলি এবং যে সরঞ্জামগুলিতে তারা ব্যবহৃত হয় তাদের দীর্ঘায়ু এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করার জন্য। উপরের নির্দেশিকাগুলি ডিজাইন, বানোয়াট এবং ইনস্টলেশন প্রক্রিয়াগুলির সময় আরও মানসম্পন্ন হয় তা নিশ্চিত করার জন্য কঠোরভাবে মেনে চলা উচিত। এই মান এবং স্পেসিফিকেশনগুলি অনুসরণ করে, অর্ধপরিবাহী নির্মাতারা তাদের সরঞ্জামের কার্যকারিতা সর্বোত্তম থেকে যায় তা নিশ্চিত করতে পারে, যার ফলে উত্পাদনশীলতা এবং লাভজনকতা বৃদ্ধি পায়।