চিপ উৎপাদনের একটি মূল ধাপ—ওয়েফার স্ক্যানিং-এ, যন্ত্রপাতির নির্ভুলতাই চিপের গুণমান নির্ধারণ করে। যন্ত্রপাতির একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হিসেবে, গ্রানাইটের তৈরি মেশিন বেসের তাপীয় প্রসারণ সমস্যাটি ব্যাপক মনোযোগ আকর্ষণ করেছে।
গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণ গুণাঙ্ক সাধারণত ৪ থেকে ৮×১০⁻⁶/℃-এর মধ্যে থাকে, যা ধাতু এবং মার্বেলের তুলনায় অনেক কম। এর মানে হলো, তাপমাত্রা পরিবর্তনের সাথে সাথে এর আকারের পরিবর্তন তুলনামূলকভাবে কম হয়। তবে, এটি মনে রাখা উচিত যে কম তাপীয় প্রসারণের অর্থ এই নয় যে কোনো তাপীয় প্রসারণ হয় না। তাপমাত্রার চরম ওঠানামার অধীনে, এমনকি সামান্যতম প্রসারণও ওয়েফার স্ক্যানিংয়ের ন্যানোস্কেল নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করতে পারে।
ওয়েফার স্ক্যানিং প্রক্রিয়ার সময় তাপীয় প্রসারণ ঘটার একাধিক কারণ রয়েছে। ওয়ার্কশপের তাপমাত্রার ওঠানামা, যন্ত্রপাতির বিভিন্ন অংশের কার্যকারিতা থেকে উৎপন্ন তাপ এবং লেজার প্রক্রিয়াকরণের ফলে সৃষ্ট তাৎক্ষণিক উচ্চ তাপমাত্রা—এই সবকিছুর কারণেই গ্রানাইটের ভিত্তিটি "তাপমাত্রার পরিবর্তনের কারণে প্রসারিত ও সংকুচিত" হয়। ভিত্তিটি তাপীয় প্রসারণের শিকার হলে, গাইড রেলের সরলতা এবং প্ল্যাটফর্মের সমতলতা বিচ্যুত হতে পারে, যার ফলে ওয়েফার টেবিলের গতিপথ ভুল পথে চালিত হয়। সহায়ক অপটিক্যাল উপাদানগুলোও সরে যায়, যার কারণে স্ক্যানিং রশ্মি "বিচ্যুত" হয়। দীর্ঘ সময় ধরে একটানা কাজ করার ফলেও ত্রুটি জমা হতে থাকে, যা নির্ভুলতাকে ক্রমশ খারাপ করে তোলে।
কিন্তু চিন্তা করবেন না। মানুষের কাছে ইতিমধ্যেই সমাধান রয়েছে। উপকরণের ক্ষেত্রে, কম তাপীয় প্রসারণ সহগযুক্ত গ্রানাইট শিরা নির্বাচন করা হবে এবং সেগুলোকে এজিং ট্রিটমেন্টের আওতায় আনা হবে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ক্ষেত্রে, ওয়ার্কশপের তাপমাত্রা ২৩±০.৫℃ বা তারও কম তাপমাত্রায় নিখুঁতভাবে নিয়ন্ত্রণ করা হয় এবং ভিত্তির জন্য একটি সক্রিয় তাপ অপসরণকারী যন্ত্রও ডিজাইন করা হবে। কাঠামোগত নকশার ক্ষেত্রে, প্রতিসম কাঠামো এবং নমনীয় সাপোর্ট গ্রহণ করা হয় এবং তাপমাত্রা সেন্সরের মাধ্যমে রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ করা হয়। তাপীয় বিকৃতির কারণে সৃষ্ট ত্রুটিগুলো অ্যালগরিদমের মাধ্যমে গতিশীলভাবে সংশোধন করা হয়।
এএসএমএল লিথোগ্রাফি মেশিনের মতো উচ্চমানের সরঞ্জামগুলো এই পদ্ধতিগুলোর মাধ্যমে গ্রানাইট বেসের তাপীয় প্রসারণ প্রভাবকে অত্যন্ত ক্ষুদ্র পরিসরের মধ্যে রাখে, যা ওয়েফার স্ক্যানিং নির্ভুলতাকে ন্যানোমিটার পর্যায়ে পৌঁছাতে সক্ষম করে। অতএব, যতক্ষণ পর্যন্ত এটিকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা হয়, গ্রানাইট বেস ওয়েফার স্ক্যানিং সরঞ্জামের জন্য একটি নির্ভরযোগ্য পছন্দ হিসেবেই থেকে যায়।
পোস্ট করার সময়: জুন-১২-২০২৫