চিপ তৈরির মূল লিঙ্ক - ওয়েফার স্ক্যানিং, সরঞ্জামের নির্ভুলতা চিপের গুণমান নির্ধারণ করে। সরঞ্জামের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হিসাবে, গ্রানাইট মেশিন বেসের তাপীয় প্রসারণ সমস্যাটি অনেক মনোযোগ আকর্ষণ করেছে।
গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণের সহগ সাধারণত 4 থেকে 8×10⁻⁶/℃ এর মধ্যে থাকে, যা ধাতু এবং মার্বেলের তুলনায় অনেক কম। এর অর্থ হল যখন তাপমাত্রা পরিবর্তন হয়, তখন এর আকার তুলনামূলকভাবে খুব কম পরিবর্তিত হয়। তবে, এটি মনে রাখা উচিত যে কম তাপীয় প্রসারণের অর্থ কোনও তাপীয় প্রসারণ নেই। চরম তাপমাত্রার ওঠানামার অধীনে, এমনকি সামান্যতম প্রসারণও ওয়েফার স্ক্যানিংয়ের ন্যানোস্কেল নির্ভুলতার উপর প্রভাব ফেলতে পারে।
ওয়েফার স্ক্যানিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, তাপীয় প্রসারণের একাধিক কারণ রয়েছে। কর্মশালায় তাপমাত্রার ওঠানামা, সরঞ্জামের উপাদানগুলির পরিচালনার ফলে উৎপন্ন তাপ এবং লেজার প্রক্রিয়াকরণের ফলে তাৎক্ষণিক উচ্চ তাপমাত্রা গ্রানাইট বেসকে "তাপমাত্রার পরিবর্তনের কারণে প্রসারিত এবং সংকুচিত" করে তুলবে। একবার বেসটি তাপীয় প্রসারণের মধ্য দিয়ে গেলে, গাইড রেলের সরলতা এবং প্ল্যাটফর্মের সমতলতা বিচ্যুত হতে পারে, যার ফলে ওয়েফার টেবিলের ভুল গতিপথ তৈরি হতে পারে। সহায়ক অপটিক্যাল উপাদানগুলিও স্থানান্তরিত হবে, যার ফলে স্ক্যানিং বিম "বিচ্যুত" হবে। দীর্ঘ সময় ধরে একটানা কাজ করলে ত্রুটিও জমা হবে, যার ফলে নির্ভুলতা আরও খারাপ হবে।
কিন্তু চিন্তা করবেন না। মানুষের কাছে ইতিমধ্যেই সমাধান আছে। উপকরণের ক্ষেত্রে, তাপীয় প্রসারণের কম সহগ সহ গ্রানাইট শিরা নির্বাচন করা হবে এবং বার্ধক্যজনিত চিকিৎসার আওতায় আনা হবে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ক্ষেত্রে, কর্মশালার তাপমাত্রা 23±0.5℃ বা তারও কম তাপমাত্রায় সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত হয় এবং ভিত্তির জন্য একটি সক্রিয় তাপ অপচয় ডিভাইসও ডিজাইন করা হবে। কাঠামোগত নকশার ক্ষেত্রে, প্রতিসম কাঠামো এবং নমনীয় সমর্থন গ্রহণ করা হয় এবং তাপমাত্রা সেন্সরের মাধ্যমে রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ করা হয়। তাপীয় বিকৃতির কারণে সৃষ্ট ত্রুটিগুলি অ্যালগরিদম দ্বারা গতিশীলভাবে সংশোধন করা হয়।
ASML লিথোগ্রাফি মেশিনের মতো উচ্চমানের সরঞ্জামগুলি এই পদ্ধতিগুলির মাধ্যমে গ্রানাইট বেসের তাপীয় সম্প্রসারণ প্রভাবকে অত্যন্ত ছোট পরিসরের মধ্যে রাখে, যার ফলে ওয়েফার স্ক্যানিং নির্ভুলতা ন্যানোমিটার স্তরে পৌঁছাতে সক্ষম হয়। অতএব, যতক্ষণ না এটি সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়, ততক্ষণ গ্রানাইট বেস ওয়েফার স্ক্যানিং সরঞ্জামের জন্য একটি নির্ভরযোগ্য পছন্দ হিসাবে রয়ে যায়।
পোস্টের সময়: জুন-১২-২০২৫