ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের কোন অংশে গ্রানাইট উপকরণ ব্যবহৃত হয়?

উচ্চ স্থায়িত্ব, নিম্ন তাপীয় প্রসারণ এবং জারা থেকে উচ্চ প্রতিরোধের মতো দুর্দান্ত বৈশিষ্ট্যগুলির কারণে গ্রানাইট উপকরণগুলি অর্ধপরিবাহী শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এই বৈশিষ্ট্যগুলি গ্রানাইটকে একটি ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমে উচ্চ-নির্ভুলতা উপাদানগুলি তৈরির জন্য একটি আদর্শ উপাদান তৈরি করে।

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে, ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেম উত্পাদন প্রক্রিয়াটির বিভিন্ন পর্যায়ে ওয়েফার পরিবহনে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এই সিস্টেমগুলির জন্য নির্ভুলতা এবং নির্ভুলতা হ'ল প্রয়োজনীয় প্রয়োজনীয়তা কারণ এমনকি সামান্য বিচ্যুতিও পুরো প্রক্রিয়াটিকে বিপন্ন করতে পারে। অতএব, ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের উপাদানগুলি অবশ্যই উচ্চমানের উপকরণ থেকে তৈরি করতে হবে এবং গ্রানাইট সেই মানদণ্ডগুলি পূরণ করে।

গ্রানাইট উপকরণ থেকে তৈরি ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের কিছু অংশের মধ্যে রয়েছে:

1। ভ্যাকুয়াম চক টেবিল

প্রক্রিয়া চলাকালীন ভ্যাকুয়াম চক টেবিলটি ওয়েফারটি ধরে রাখার জন্য ব্যবহৃত হয় এবং ওয়েফারটি ক্ষতিগ্রস্থ না হয় তা নিশ্চিত করার জন্য এটি অবশ্যই একটি স্থিতিশীল পৃষ্ঠ থাকতে হবে। গ্রানাইট এই টেবিলটি তৈরির জন্য একটি আদর্শ উপাদান কারণ এটিতে একটি সমতল, অ-ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠ রয়েছে যা উচ্চ স্থায়িত্ব এবং নির্ভুলতা সরবরাহ করে। অতিরিক্তভাবে, গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণের কম সহগ রয়েছে, এটি তাপমাত্রার পরিবর্তনের বিরুদ্ধে প্রতিরোধী করে তোলে যা ওয়েফারে মাত্রিক পরিবর্তন হতে পারে।

2। এয়ার বহনকারী পর্যায়

বায়ু বহনকারী পর্যায়টি উত্পাদন প্রক্রিয়াটির বিভিন্ন পর্যায়ে ওয়েফারকে পরিবহন করতে ব্যবহৃত হয়। মঞ্চটি একটি ঘর্ষণহীন আন্দোলন সরবরাহ করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়, যার জন্য উচ্চ নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা প্রয়োজন। এই অ্যাপ্লিকেশনটিতে গ্রানাইট ব্যবহৃত হয় কারণ এটি একটি অনমনীয় এবং শক্ত পাথর এবং এটি সময়ের সাথে সাথে বিকৃতি এবং পরিধানকে প্রতিহত করে।

3। লিনিয়ার মোশন গাইড

লিনিয়ার মোশন গাইডগুলি বায়ু বহনকারী পর্যায়ে গাইড করতে ব্যবহৃত হয় এবং ত্রুটিগুলি হ্রাস করার জন্য সেগুলি অবশ্যই সঠিকভাবে অবস্থান করতে হবে। গ্রানাইট এই গাইডটি তৈরি করতে ব্যবহৃত হয় কারণ এতে দুর্দান্ত যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা এবং শক্তি রয়েছে। উপাদানটিও জারা-প্রতিরোধী, যা গাইড সিস্টেমের দীর্ঘায়ু নিশ্চিত করে।

4। মেট্রোলজি সরঞ্জাম

মেট্রোলজি সরঞ্জামগুলি উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের মাত্রা এবং বৈশিষ্ট্যগুলি পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়। গ্রানাইট এই সরঞ্জামগুলি তৈরির জন্য একটি আদর্শ উপাদান কারণ এতে উচ্চ কঠোরতা, কম প্রসারণ এবং লোডের অধীনে ন্যূনতম বিকৃতি রয়েছে। তদুপরি, গ্রানাইটের তাপীয় স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে যে মেট্রোলজি সরঞ্জামগুলি সময়ের সাথে সাথে স্থিতিশীল এবং নির্ভুল রয়েছে।

উপসংহারে, অর্ধপরিবাহী শিল্প নির্ভুলতা এবং নির্ভুলতার উপর নির্ভর করে এবং গ্রানাইট উপকরণগুলি উত্পাদন প্রক্রিয়াতে অত্যন্ত নির্ভরযোগ্য এবং স্থিতিশীল হিসাবে প্রমাণিত হয়েছে। উচ্চ স্থিতিশীলতা, নির্ভুলতা এবং নিম্ন তাপীয় প্রসারণের জন্য ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমে অনেকগুলি সমালোচনামূলক উপাদানগুলির সাথে ইঞ্জিনিয়াররা এই সমালোচনামূলক প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে গ্রানাইট উপকরণগুলিতে পরিণত হয়েছে।