উচ্চ স্থায়িত্ব, কম তাপীয় প্রসারণ এবং ক্ষয় প্রতিরোধের মতো চমৎকার বৈশিষ্ট্যের কারণে গ্রানাইট উপকরণগুলি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এই বৈশিষ্ট্যগুলি গ্রানাইটকে ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমে উচ্চ-নির্ভুলতা উপাদান তৈরির জন্য একটি আদর্শ উপাদান করে তোলে।
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, উৎপাদন প্রক্রিয়ার বিভিন্ন পর্যায়ে ওয়েফার পরিবহনে ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেম একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এই সিস্টেমগুলির জন্য নির্ভুলতা এবং নির্ভুলতা অপরিহার্য কারণ সামান্য বিচ্যুতিও পুরো প্রক্রিয়াটিকে বিপন্ন করতে পারে। অতএব, ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের উপাদানগুলি উচ্চমানের উপকরণ দিয়ে তৈরি করা উচিত এবং গ্রানাইট এই মানদণ্ডগুলি পূরণ করে।
গ্রানাইট উপকরণ দিয়ে তৈরি ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের কিছু অংশের মধ্যে রয়েছে:
১. ভ্যাকুয়াম চাক টেবিল
প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফার ধরে রাখার জন্য ভ্যাকুয়াম চাক টেবিল ব্যবহার করা হয় এবং ওয়েফারটি ক্ষতিগ্রস্ত না হয় তা নিশ্চিত করার জন্য এর একটি স্থিতিশীল পৃষ্ঠ থাকা আবশ্যক। গ্রানাইট এই টেবিল তৈরির জন্য একটি আদর্শ উপাদান কারণ এর একটি সমতল, অ-ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠ রয়েছে যা উচ্চ স্থিতিশীলতা এবং নির্ভুলতা প্রদান করে। অতিরিক্তভাবে, গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণের সহগ কম থাকে, যা এটিকে তাপমাত্রার পরিবর্তনের বিরুদ্ধে প্রতিরোধী করে তোলে যা ওয়েফারে মাত্রিক পরিবর্তন ঘটাতে পারে।
2. এয়ার-বিয়ারিং স্টেজ
উৎপাদন প্রক্রিয়ার বিভিন্ন পর্যায়ে ওয়েফার পরিবহনের জন্য বায়ু-বহনকারী পর্যায় ব্যবহার করা হয়। পর্যায়টি ঘর্ষণহীন চলাচল প্রদানের জন্য তৈরি করা হয়েছে, যার জন্য উচ্চ নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা প্রয়োজন। এই প্রয়োগে গ্রানাইট ব্যবহার করা হয় কারণ এটি একটি অনমনীয় এবং শক্ত পাথর, এবং এটি সময়ের সাথে সাথে বিকৃতি এবং ক্ষয় প্রতিরোধ করে।
3. লিনিয়ার মোশন গাইড
রৈখিক গতি নির্দেশিকাগুলি বায়ু-বহনকারী পর্যায়ের নির্দেশনার জন্য ব্যবহৃত হয় এবং ত্রুটি কমাতে এগুলিকে সঠিকভাবে স্থাপন করা আবশ্যক। এই নির্দেশিকাটি তৈরিতে গ্রানাইট ব্যবহার করা হয়েছে কারণ এর চমৎকার যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা এবং শক্তি রয়েছে। উপাদানটি ক্ষয়-প্রতিরোধীও, যা নির্দেশিকা ব্যবস্থার দীর্ঘায়ু নিশ্চিত করে।
৪. মেট্রোলজি সরঞ্জাম
উৎপাদন প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের মাত্রা এবং বৈশিষ্ট্য পরিমাপ করার জন্য মেট্রোলজি সরঞ্জাম ব্যবহার করা হয়। গ্রানাইট এই সরঞ্জাম তৈরির জন্য একটি আদর্শ উপাদান কারণ এতে উচ্চ দৃঢ়তা, কম প্রসারণ এবং লোডের অধীনে ন্যূনতম বিকৃতি রয়েছে। অধিকন্তু, গ্রানাইটের তাপীয় স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে যে মেট্রোলজি সরঞ্জামগুলি সময়ের সাথে সাথে স্থিতিশীল এবং নির্ভুল থাকে।
উপসংহারে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্প নির্ভুলতা এবং নির্ভুলতার উপর নির্ভর করে এবং গ্রানাইট উপকরণগুলি উৎপাদন প্রক্রিয়ায় অত্যন্ত নির্ভরযোগ্য এবং স্থিতিশীল প্রমাণিত হয়েছে। ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমে অনেক গুরুত্বপূর্ণ উপাদানের জন্য উচ্চ স্থিতিশীলতা, নির্ভুলতা এবং কম তাপীয় প্রসারণের প্রয়োজন হয়, তাই প্রকৌশলীরা এই গুরুত্বপূর্ণ প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করার জন্য গ্রানাইট উপকরণের দিকে ঝুঁকছেন।
পোস্টের সময়: মার্চ-১৯-২০২৪