গ্রানাইটের উচ্চ স্থিতিশীলতা, কম তাপীয় প্রসারণ এবং উচ্চ ক্ষয়-প্রতিরোধ ক্ষমতার মতো চমৎকার বৈশিষ্ট্যের কারণে এটি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এই বৈশিষ্ট্যগুলোর জন্য ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমে উচ্চ-নির্ভুল যন্ত্রাংশ তৈরির ক্ষেত্রে গ্রানাইট একটি আদর্শ উপাদান।
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেম উৎপাদন প্রক্রিয়ার বিভিন্ন ধাপ জুড়ে ওয়েফার পরিবহনে একটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এই সিস্টেমগুলোর জন্য নির্ভুলতা এবং সূক্ষ্মতা অপরিহার্য, কারণ সামান্য বিচ্যুতিও পুরো প্রক্রিয়াটিকে ব্যাহত করতে পারে। তাই, ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের উপাদানগুলো অবশ্যই উচ্চ-মানের উপকরণ দিয়ে তৈরি হতে হবে, এবং গ্রানাইট সেই মানদণ্ড পূরণ করে।
ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের যে অংশগুলো গ্রানাইট উপাদান দিয়ে তৈরি, সেগুলোর মধ্যে রয়েছে:
১. ভ্যাকুয়াম চাক টেবিল
প্রক্রিয়াকরণ চলাকালীন ওয়েফারটিকে ধরে রাখার জন্য ভ্যাকুয়াম চাক টেবিল ব্যবহার করা হয়, এবং ওয়েফারটির যাতে কোনো ক্ষতি না হয় তা নিশ্চিত করার জন্য এর একটি স্থিতিশীল পৃষ্ঠ থাকা আবশ্যক। এই টেবিলটি তৈরির জন্য গ্রানাইট একটি আদর্শ উপাদান, কারণ এর একটি সমতল ও ছিদ্রহীন পৃষ্ঠ রয়েছে যা উচ্চ স্থিতিশীলতা এবং নির্ভুলতা প্রদান করে। এছাড়াও, গ্রানাইটের তাপীয় প্রসারণ সহগ কম, যা এটিকে তাপমাত্রার এমন পরিবর্তন প্রতিরোধী করে তোলে যা ওয়েফারের মাত্রাগত পরিবর্তন ঘটাতে পারে।
২. বায়ু-বহন পর্যায়
উৎপাদন প্রক্রিয়ার বিভিন্ন ধাপের মধ্য দিয়ে ওয়েফার পরিবহনের জন্য এয়ার-বেয়ারিং স্টেজ ব্যবহার করা হয়। স্টেজটিকে এমনভাবে ডিজাইন করা হয় যাতে এটি ঘর্ষণহীনভাবে চলাচল করতে পারে, যার জন্য উচ্চ নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা প্রয়োজন। এই কাজে গ্রানাইট ব্যবহার করা হয়, কারণ এটি একটি অনমনীয় ও কঠিন পাথর এবং সময়ের সাথে সাথে এর বিকৃতি ও ক্ষয় প্রতিরোধ করে।
৩. রৈখিক গতি নির্দেশিকা
এয়ার-বেয়ারিং স্টেজকে চালনা করার জন্য লিনিয়ার মোশন গাইড ব্যবহার করা হয়, এবং ত্রুটি কমানোর জন্য এগুলোকে অবশ্যই নির্ভুলভাবে স্থাপন করতে হবে। এই গাইডটি তৈরি করতে গ্রানাইট ব্যবহার করা হয়, কারণ এর চমৎকার যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা এবং শক্তি রয়েছে। উপাদানটি ক্ষয়-প্রতিরোধীও, যা গাইড সিস্টেমটির দীর্ঘস্থায়িত্ব নিশ্চিত করে।
৪. পরিমাপ সরঞ্জাম
উৎপাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের মাত্রা ও বৈশিষ্ট্য পরিমাপ করার জন্য মেট্রোলজি সরঞ্জাম ব্যবহার করা হয়। এই সরঞ্জাম তৈরির জন্য গ্রানাইট একটি আদর্শ উপাদান, কারণ এর দৃঢ়তা বেশি, প্রসারণ কম এবং ভারের অধীনে এর বিকৃতি ন্যূনতম। অধিকন্তু, গ্রানাইটের তাপীয় স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে যে মেট্রোলজি সরঞ্জামটি সময়ের সাথে সাথে স্থিতিশীল এবং নির্ভুল থাকে।
পরিশেষে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্প নির্ভুলতা ও সূক্ষ্মতার উপর নির্ভরশীল, এবং উৎপাদন প্রক্রিয়ায় গ্রানাইট উপাদান অত্যন্ত নির্ভরযোগ্য ও স্থিতিশীল বলে প্রমাণিত হয়েছে। ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেমের অনেক গুরুত্বপূর্ণ উপাদানে উচ্চ স্থিতিশীলতা, নির্ভুলতা এবং কম তাপীয় প্রসারণের প্রয়োজন হওয়ায়, প্রকৌশলীরা এই জরুরি চাহিদাগুলো পূরণের জন্য গ্রানাইট উপাদানের দিকে ঝুঁকেছেন।
পোস্ট করার সময়: ১৯ মার্চ, ২০২৪